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热加工工艺2019年7月第48卷第14期

TA19合金表面TiAIN硬质涂层的耐磨性能研究

柳荣\黄朝军2,梁文萍2,缪强2,易锦伟2,丁铮2,李阳2

(1.上海飞机设计研究院，上海201210;2.南京航空航天大学材料科学及技术学院，江苏南京211100)

摘要：为了提高TA19合金的摩擦学性能，采用磁控溅射技术在TA19合金表面制备了TiAIN硬质涂层。采用扫

描电子显微镜、X射线衍射仪和能谱仪研究了TiAIN涂层的微观形貌、物相组成和成分含量及分布，利用球-盘摩擦磨

损试验机研究了不同载荷条件下硬质涂层和基体的摩擦行为及其磨损机理。结果表明：TiAIN涂层厚度约为4pm，表

面为细小颗粒状，颗粒间较为紧密，颗粒尺寸大小均匀。涂层表面主要由TiA、lN、元素组成，其原子比大约为1:1:1，涂

层和基体间结合力可达到53.3N。磨损试验结果表明，在TA19合金表面制备TiAIN涂层后，其摩擦系数和磨损率较

TA19合金基体的有了明显的降低。在低载荷下，TiAIN涂层的磨损形式主要是磨粒磨损，在高载荷时转化为磨粒磨损

和氧化磨损。

关键词：TA19合金；磁控溅射;TiAIN涂层；载荷；摩擦磨损

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.14.025

中图分类号：TG174.445文献标识码：A文章编号：1001-3814(2019)14-0097-05

StudyonTribologicalPropertiesofTiAINHardCoatingonTA19AlloySurface

LIURong,HUANGChaojun2,LIANGWenping2,MIAOQiang2,

YIJinwei2,DINGZheng2,LIYang2

(1.ShanghaiAircraftDesignandResearchInstitute,Shanghai201210,China2.CollegeofMaterialsScienceandTechnology,

NanjingUniversityofAeronauticsandAstronautics,Nanjing211100,China)

Abstract：InordertoimprovethetribologicalpropertiesofTA19alloy,TiAINhardcoatingwaspreparedonthesurface

ofTA19alloybymagnetronsputtering.Themicrostructure,phasecomposition,compositionanddistributionofTiAINcoating

werestudiedbyscanningelectronmicroscope(SEM),X-raydiffractometer(XRD)andenergydispersivespectroscopy(EDS).

Thefrictionbehaviorandwearmechanismofhardcoatingandsubstrateunderdifferentloadswerestudiedbyball-disk

frictionandweartester.Theresultsshowthat,thethicknessofTiAINcoatingis