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HotWorkingTechnology2021,Vol.50,No.6
基体特性对TiSiN/TiAlSiN/AlTiN涂层
WC-Co硬质合金膜基结合力的影响
桑远洋，陈宜，颜坤喆，周彰宇
(南昌航空大学轻合金加工科学与技术国防重点学科实验室，江西南昌330063)
摘要：基体物相特性会对涂层硬质合金整体的力学性能产生重要影响。制备了具有不同WC晶粒度和Co含量
的WC-Co系列硬质合金，采用直流磁控溅射技术在其表面沉积同种Ti^Siao^/TiAlSiN/AUio.^涂层。结果表明，随
WC-Co硬质合金基体WC晶粒度（1.2〜0.4pm)的降低或Co含量（12Co〜3Co)的减少，涂层与基体完全剥离时的临
界载荷逐渐增大。LQ与基体硬度//s或弹性模量£s之间在数值上具有较好的线性正相关性。涂层首次剥离时的临
界载荷LC1能反映涂层的内聚失效抗力。适当的WC晶粒度和Co含量（超细晶10C〇)能避免涂层产生较早的内聚失效
或界面失效，有利于LC1和La的同步改善。
关键词：TiSiN/TiAlSiN/AlTiN涂层；膜基结合力；硬质合金;Co含量；晶粒度
DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.
中图分类号：TG174.4文献标识码：A文章编号：1001-3814(2021)6-0088-05
EffectofSubstratePropertiesonCoating-substrateAdhesionofTiSiN/TiAlSiN/
AlTiNCoatedWC-CoCementedCarbides
SANGYuanyang,CHENYi,YANKunzhe,ZHOUZhangyu
(NationalDefenseKeyDisciplinesLaboratoryofLightAlloyProcessingScienceandTechnology,NanchangHangkong
University,Nanchang330063,China)
AbstractThephasecharacteristicsofthesubstratehaveanimportanteffectontheoverallmechanicalpropertiesofthe：
coatedcementedcarbide.AseriesofWC-CocementedcarbideswithdifferentWCgrainsizesandCocontentswereprepared,
andthesameTiowSio.o^/TiAlSiN/Alt^Tio^coatingwasdepositedonthecementedcarbidesbyDCmagnetronsputtering.The
resultsshowthatwiththedecreaseofWCgrainsize(0.4-1.2fxm)orthedecreaseofCocontent(3Co-12Co),th
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