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2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与本土供应能力评估报告.docx

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    2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与本土供应能力评估报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、行业现状与发展趋势分析 3

    1、全球及中国电子特种气体市场概况 3

    年全球电子特种气体市场规模与结构 3

    中国电子特种气体市场发展阶段与特征 3

    2、电子特种气体纯化技术发展现状 5

    国际主流纯化技术路线与成熟度 5

    中国现有纯化技术水平与产业化程度 6

    二、关键技术突破路径与研发进展 8

    1、高纯度气体纯化核心工艺分析 8

    低温精馏、吸附分离与膜分离技术对比 8

    痕量杂质检测与控制关键技术 9

    2、国产化技

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