2025至2030中国光刻胶配套试剂纯化工艺突破与晶圆厂认证进度报告.docx

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2025至2030中国光刻胶配套试剂纯化工艺突破与晶圆厂认证进度报告

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、中国光刻胶配套试剂行业现状分析 3

1、产业发展阶段与整体格局 3

年前光刻胶配套试剂国产化率与进口依赖度 3

主要配套试剂品类(显影液、剥离液、清洗液等)的市场分布 4

2、产业链上下游协同现状 6

上游原材料(高纯溶剂、表面活性剂等)供应能力 6

下游晶圆厂对配套试剂的采购模式与认证壁垒 7

二、关键技术突破与纯化工艺进展 9

1、高纯度试剂纯化核心技术路径 9

分子筛吸附、精馏、膜分离等主流纯化技术对比 9

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