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中文科技期刊数据库（引文版）工程技术

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半导体行业超纯水处理系统的调试与分析

张勇

栗田工业（苏州）水处理有限公司，江苏苏州215000

摘要：本文详细分析了某公司超纯水处理系统的试运行过程，重点讨论了调试过程中遇到的技术难点及其解决方

案。该系统采用两级抛光、两级超滤等处理工艺，可有效去除水中大分子有机物及金属离子等杂质，达到超纯水

中金属离子浓度0.1ppt的严苛要求。本文通过对系统调试和性能评估的深入探讨，总结了确保半导体硅片制造

用水高质量的重要技术方法，为半导体行业的水处理技术提供了参考。

关键词：半导体硅片；超纯水处理系统；系统调试

中图分类号：TH161+.11

半导体硅片是集成电路行业的粮食，90%的集成电为UPW：100m³/h。设备安装调试完成后，系统连续一

路在硅片上制造，是主要基础的集成电路材料，目前个月内，在线仪表水质监测结果全部合格。该项目的

300mm硅片成为芯片制造的主流材料，使用比例超过顺利实施，为我国自主可控300mm硅片提供重要支撑，

70%。过去我国300mm半导体硅片依赖进口，成为我国也将为我国半导体产业自主可控提供重要保证。该项

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集成电路产业链建设与发展的主要瓶颈。随着半导体目的实施标志着我国在半导体产业领域的重大突破，

制造工艺的进步，为实现300mm半导体硅片自主可控特别是在超纯水处理系统的自主研发和应用方面。系

的国家战略，对超纯水处理系统提出了更高的要求。统的设计与安装充分考虑了300mm硅片生产对水质的

本文将探讨该系统的调试及其试运转过程中的关键技严格要求，通过先进的水处理技术和设备，确保了水

术点，并为进一步优化此类系统提供技术借鉴。硅片质的纯度达到了国际标准，并且在多个技术环节上进

的质量和生产效率成为影响芯片性能和产量的关键因行了优化，以满足生产过程中的高效、稳定供水需求。

素。尤其是在300mm硅片的生产过程中，超纯水作为在设备调试和试运转过程中，项目组通过精确的调试

半导体制造中至关重要的工艺用水，其水质的纯净度流程和严格的质量控制，确保了系统在长期运行中的

直接影响到硅片的质量与良率。超纯水处理系统的稳稳定性和可靠性。经过系统验证和多次运行测试，水

定性和精确性，对于确保整个生产工艺的顺利进行至质监测数据稳定且符合设计标准，系统的运行效率和

关重要。然而，在我国，300mm硅片的自主生产尚处于处理能力均得到了验证。该项目的成功实施不仅为

起步阶段，面临着高品质超纯水处理技术的突破和优300mm硅片生产提供了稳定的超纯水保障，也进一步推

化的挑战。因此，深入研究超纯水处理系统的调试及动了我国半导体产业链的自主可控进程。它为后续大

其试运转过程中的关键技术点，不仅有助于提升国内规模硅片生产线的建设提供了宝贵的经验和技术支持，

硅片的生产能力和质量水平，也能推动我国集成电路有助于提升国内半导体行业的自给能力和国际竞争力。

产业链的自主可控和自主创新能力的提升。本文将重此外，项目的经验也为超纯水处理技术在其他高精密

点探讨在系统调试阶段如何有效解决水质波动、设备制造领域的应用提供了参考，具有广泛的技术推广意

精度、运行稳定性等问题，为国内相关技术的推广与义。

应用提供可行性方案及技术借鉴。2超纯水处理系统

1项目概况2.1工