飞行时间二次离子质谱技术(TOF-SIMS)在钢铁材料缺陷分析中的应用.pdfVIP

2025年第4期宝钢技术69

飞行时间二次离子质谱技术（TOF-SIMS）在钢铁材料

缺陷分析中的应用

顾佳卿，强少明，李秀军²，叶若如，章乃俊

（宝山钢铁股份有限公司1.中央研究院，上海201999；2.冷轧厂，上海201999）

摘要：飞行时间二次离子质谱（time-of-flightsecondaryionmassspectrometry，TOF-SIMS）作

为一种高灵敏度、高分辨率的表面分析技术,在材料科学领域应用广泛。聚焦于TOF-SIMS在

钢铁材料分析中的应用，探讨了其在薄膜/钝化膜分析、微量元素残留、晶界富集、表面基团表

征及氢元素分析等方面的潜力。凭借高空间分辨率和卓越的化学灵敏度,TOF-SIMS能提供高

精度的表面成分分布、深度剖析与三维成像结果，有效克服了能量色散X射线光谱（EDS)等

传统分析方法在灵敏度与元素检测范围上的局限性。通过镀锡板黄斑缺陷、ZM镀层钢板残

油及BW600钢晶界元素富集等案例,展示了该技术的实际应用。特别是在氢脆研究中,TOF-

SIMS能够高效、精确地表征氢在材料中的分布，为揭示氢脆机理提供了独特优势。综上,TOF-

SIMS技术在钢铁材料缺陷分析中具有广阔的应用前景，可为钢铁行业提供精准的分析手段，

从而推动相关领域的技术进步。

关键词：飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）；钢铁材料；缺陷分析；微量元素；氢脆；表

面分析

中图分类号：TG115.21+5.9文献标志码：B文章编号：1008-0716(2025)04-0069-09

doi:10.3969/j.issn.1008-0716.2025.04.011

Applicationoftime-of-flightsecondaryionmassspectrometry

(TOF-SIMS)indefectanalysisofsteelmaterials

GUJiaqing,QIANGShaoming,LIXiujun’,YERuoruandZHANGNajun

(1.ResearchInstitute,BaoshanIronSteelCo.,Ltd.,Shanghai201999,China;

2.ColdRollingPlant,BaoshanIronSteelCo.,Ltd.,Shanghai201999,China)

Abstract:Time-of-flightsecondaryionmassspectrometry(TOF-SIMS)isahighlysensitive

andhigh-resolutionsurfaceanalysistechnique,whichhasbeenwidelyusedinmaterialsscience

research.ThisstudyfocusesontheapplicationofTOF-SIMSinsteelmaterialanalysis,exploringits

potentialinthinfilm/passivationfilmanalysis,traceelementresidueanalysis,grainboundary

enrichmentanalysis,surfacefunctionalgroupcharacterization,andhydrogenelementanalysis.With

itshighspatialresolutionandexcellentchemicalsensitivity,TOF-SIMSprovidesprecisesurface

comp