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等离子表面技术对绝缘材料的改性机制研究

目录

文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.1.1电气绝缘领域的发展需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.1.2等离子体技术在材料改性中的应用前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.2.1等离子体表面处理技术研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

1.2.2绝缘材料表面改性的研究动态．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

1.3.1主要研究目的．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

1.3.2具体研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

1.4.1采用的研究方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

1.4.2技术实施路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

等离子体表面技术及其在绝缘材料改性中的应用．．．．．．．．．．．．．28

2.1等离子体的基本概念与特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

2.1.1等离子体的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.1.2等离子体的主要物理化学特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.2常用等离子体表面改性技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

2.2.1放电等离子体表面处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

2.2.2光辉等离子体表面处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

2.2.3激光诱导等离子体表面处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

2.3等离子体对绝缘材料进行表面改性的原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

2.3.1等离子体与绝缘材料表面的相互作用机制．．．．．．．．．．．．．．．．50

2.3.2等离子体改性对绝缘材料表面性能的影响途径．．．．．．．．．．．．51

等离子体改性绝缘材料的表面结构与性能分析．．．．．．．．．．．．．．．55

3.1改性后绝缘材料表面形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

3.1.1表面微观形貌观察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60

3.1.2表面粗糙度变化分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62

3.2改性后绝缘材料表面化学成分分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63

3.2.1元素组成变化检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65

3.2.2化学键合状态分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67

3.3改性后绝缘材料表面物理性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70

3.3.1表面润湿性测试与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72

3.3.2表面电荷状态检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73

3.4改性后绝缘材料表面电气性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．78

3.4.1表面电阻率变化测定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．79

3.4.2介电性能变化分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81

等离子体改性绝缘材料的改性机制探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．83

4.1等离子体刻蚀作用机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．86

4.1.1表面杂质元素的去除机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．89

4.1.2表面微