TiZrHf中熵合金表面MPCVD法制备金刚石-碳化物涂层及其摩擦磨损性能研究.pdfVIP

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《热加工工艺》2022年2月第51卷第4期

TiZrHf中熵合金表面MPCVD法制备金刚石

-碳化物涂层及其摩擦磨损性能研究

薛晨，王永胜，于盛旺，黑鸿君，高洁，马永，周兵，吴艳霞

(太原理工大学材料科学与工程学院，山西太原030000)

摘要：采用微波等离子化学气相沉积(MPCVD)法，以高纯甲烷和氢气为反

工艺安全管理专家持证人

石油炼制资深从业者，安全环保工艺专家，中化协专家

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