高精度光変位センサの特長と応用範囲.pdfVIP

高精度光変位センサ

概要

本モジュールは、被測定物の変位検出を「簡便かつ低コスト」で実現するもの

であり、当社独自の光学設計技術、及び、回路系機械系の技術により、

世界トップクラスの「高精度検出」と「長レンジ検出」を実現します。

特長

高精度：±0.1μｍ

長レンジ：１000μm

小型：××２参考値

開発の背景

世界初のＣＤ－Ｒ開発メーカー

（、倍速）（、倍速）（、倍速）

開発の背景

nmオーダー

高精度光学変位計測ユニット

開発の背景

大低減

高精度光学変位計測ユニットを開発・運用

測定技術を他分野に応用

高精度光変位センサを開発

原理

発光素子

原理と構造変位

⚫発光部と受光部の間に光学素子

光学素子２枚を挟んだ構造。

光路

⚫光学素子間の移動量を受光部に

受光素子

入る光量変化で検出。

デモ機仕様

折り

送信

曲げる表示

検出

無線モジュール

被測定物

センサ部

センサ部無線モジュール部

検出軸数１動作電圧動作電圧

検出範囲1000μm無線規格

測定精度±１μm測定周波数無線時

使用温度室温検出速度限界250μm／

※測定データは無線モジュールによりPC等へ転送可

デモの様子

デモ機の特性

特性

51000

位

変4900

物

定3）800

測2