单晶炉热场结构晶体硅制备技术13课件.pptxVIP

晶体硅制备技术单晶炉热场结构主讲教师：张平

课堂引言01任务目标介绍02热场的“四大金刚”：核心部件与功能03热场的“核心魔法”：工作原理-产热、保温、造梯度04

热场设计的“秘密武器”：材料与结构05热场对生产的影响和维护的必要性06课堂总结07

Part01课堂引言

一、课堂引言（一）课程回顾与热场引入前两节课内容回顾在前两节课中，我们学习了单晶炉强健的“筋骨”——机械结构，以及精密的“神经网络”——电气结构，为后续学习打下了坚实基础。本节课学习内容引入今天，我们将深入单晶炉最炽热、最核心的区域——热场结构，探索其奥秘。

一、课堂引言（二）热场的重要性01.提供热量与温度分布控制热场为硅料熔化、晶体生长提供所需热量，并精密“雕刻”着炉内温度分布，是实现单晶硅生产奇迹的核心条件。

一、课堂引言（二）热场的重要性02.对熔硅质量和晶体生长的影响热场设计的优劣直接决定了熔硅的质量和晶体能否顺利生长，良好的热场是晶体生长的关键保障。

一、课堂引言（二）热场的重要性03.对单晶硅纯度和缺陷的影响热场状况深刻影响着单晶硅的纯度和缺陷数量，优秀热场有助于生产出高纯度、少缺陷的单晶硅。

一、课堂引言（二）热场的重要性04.对太阳能电池片或芯片性能和良品率的影响热场最终影响着太阳能电池片或芯片的性能和良品率，没有优秀热场，难以生产出高质量产品。

Part02任务目标介绍

二、任务目标介绍准确说出加热器、隔热层、热屏、坩埚系统这四大热场核心部件，并清晰阐述其各自功能。例如，加热器是热场的“能量发动机”，能将电能转化为1600℃以上的炽热能量来熔化硅料。01指认四大部件理解热场产热、保温的过程，尤其要掌握如何形成“上冷下热”的温度梯度。如加热器通电产热，隔热层锁热，热屏引导热量形成特定温度梯度，梯度需控制在每厘米20-30℃。02解析核心原理

二、任务目标介绍明白热场选材要用耐高温、高纯度、化学性质稳定的材料，如高纯石墨；了解部件形状、保温设计等对温度均匀性及晶体质量的影响，像装配间隙需精准控制。03理解设计关键了解高温下热场部件的损耗特点，如石墨氧化变脆、隔热毡粉化变薄等，明确定期维护对稳定生产高质量单晶硅的重要性，忽视维护会使生产问题和废品增多。04认识维护必要性

Part03热场的“四大金刚”：

核心部件与功能

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（一）热场整体概述热场的核心位置热场位于炉腔最核心的位置，如同单晶炉的“心脏”和“能量熔炉”，是硅料熔化、晶体生长的关键区域。

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（一）热场整体概述四大关键部件热场主要由加热器、隔热层、热屏、坩埚系统四大关键部件组成，它们协同工作，缺一不可，共同保障热场的稳定运行。

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（二）加热器加热器是热场的“能量发动机”，承担着为热场提供能量的重要任务，是热场产热的核心部件。能量发动机

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（二）加热器加热器由高纯度石墨制成，这种材料耐热性强，在忽冷忽热的环境下也不易开裂，还具备良好的导电性。材料特性

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（二）加热器加热器具有特殊设计的形状，如环形或三瓣式，能够确保热量均匀扩散，为热场提供稳定的热源。热量扩散

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（三）隔热层隔热层如同“超级保温被”，对热场起到高效的保温作用，是热场高效运行的关键保障。超级保温被

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（三）隔热层隔热层由多层碳纤维毡紧密包裹而成，利用材料自身的低导热性和微孔锁热特性来实现保温。材料组成

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（三）隔热层隔热层能将热量牢牢锁在内部，大幅节省电能，能耗可节省超30%，同时让熔硅温度保持稳定，即便电压波动也不受影响。节能与稳定

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（四）热屏温度雕刻师热屏担任“温度雕刻师”的角色，对热场的温度分布进行精确塑造，决定着单晶硅的质量与成败。

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（四）热屏阻挡热量散失热屏是一块悬在熔硅上方的石墨伞，通过致密的石墨结构吸收并阻挡热量向炉顶辐射。

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（四）热屏形成温度梯度热屏引导剩余热能沿晶体生长区域向侧方释放，自然形成“下热上冷”的温度梯度，梯度需控制在每厘米20-30℃的合理区间。

三、热场的“四大金刚”：核心部件与功能（五）坩埚系统核心容器坩埚系统是盛载硅料的核心容器，为硅料熔化与晶体生长提供稳定的“战场”。三层复合设计坩埚系统采用三层复合设计，最内层的石英坩埚直接盛放硅熔体，需超高纯度且一次性使用；中间的石墨托碗提供支撑保护，可重复使用；底部的埚杆驱动坩埚旋转升降。运动精度影响坩埚系统各部分协同工作，其运动精度直接影响