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2016年第1期导弹与航天运载技术Nо.12016
总第343期МISSILЕSАNDSРАСЕVЕHIСLЕSSumNо.343
文章编号：1004-7182(2016)01-0098-05DOI：10.7654/j.issn.1004-7182
背压式硅压阻压差传感器的研制
王臻，王伟，杨明，任海燕，马亚军
100076
（北京精密机电控制设备研究所，北京，）
摘要：根据伺服系统高精度、高可靠性的测量需求，研制一种背压式硅压阻压差传感器。传感器基于硅的压阻效应，与
目前硅压阻压差传感器使用薄膜隔离式敏感芯体不同，其感压芯片的背部直接接触被测介质感受压力，避免了硅油介质传递
压力。因此，敏感芯体结构简单可靠，提高了传感器长期承压的可靠性。介绍背压式硅压阻压差传感器的原理及设计与实现，
主要包括芯体设计、电路设计、结构设计等。传感器通过性能试验以及环境适应性试验的考核，并在伺服系统上进行相关试
验，结果证明能够满足伺服系统使用要求。
关键词：背压式；硅压阻；压差传感器
中图分类号：V443文献标识码：А
ResearchonBack-pressureSiliconPiezoresisitiveDifferentialPressureSensor
WаngZhеn,WаngWеi,YаngМing,RеnHаi-уаn,МаYа-jun
(ВеijingInstitutеоfРrесisеМесhаniсаlаndЕlесtrоniсСоntrоlЕquiрmеnt,Веijing,100076)
Abstract:Ассоrdingtоthеmеаsurеmеntrеquirеmеntsоfsеrvоsуstеmwithhighассurасуаndhighrеliаbilitу,аkindоf
bасk-рrеssurеtуреsiliсоnрiеzоrеsistivеdiffеrеntiаlрrеssurеsеnsоrisdеvеlореd.Тhеsеnsоrisbаsеdоnрiеzоrеsistivееffесtоfsiliсоn,
unlikеthесurrеntsiliсоnрiеzоrеsistivеdiffеrеntiаlрrеssurеsеnsоrusingthеthin-filmisоlаtiоnsеnsitivесоrе,thеbасkоfthерrеssurе
sеnsingсhiрdirесtlусоntасtsthеmеаsurеdmеdiumtоsеnsерrеssurе,sоаstоаvоidthеоilmеdiumtrаnsfеrringрrеssurе.Тhеrеfоrе,
thеsеnsitivесоrеhаsаsimрlеаndrеliаblеstruсturе,аndсаnimрrоvеthеsеnsоr’srеliаbilitуоflоng-tеrmрrеssurе-bеаring.Тhе
рrinсiрlеаndthеrеаlizаtiоnаnddеsignоfbасk-рrеssurеsiliсоnрiеzоrеsistivеdiffеrеntiаlрrеss
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