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基于自动化技术的MEMS惯性传感器批量测试标定系统研究

一、引言

1.1研究背景

随着微机电系统（MEMS）技术的飞速发展，MEMS惯性传感器作为惯性技术领域的重要成果，正广泛应用于各个领域。MEMS惯性传感器主要包括加速度计和陀螺仪，能够精确测量物体的加速度和角速度，为系统提供关键的运动信息。

在消费电子领域，MEMS惯性传感器已成为智能手机、平板电脑、可穿戴设备等产品的标准配置。以智能手机为例，加速度计可实现屏幕自动旋转、计步功能；陀螺仪则为虚拟现实（VR）、增强现实（AR）应用提供精准的姿态感知，极大提升了用户体验。在汽车行业，MEMS惯性传感器用于电子稳定控制系统（ESC）、