IC类半导体固晶机技术规范（征求意见稿）修订T SZBSIA006-2022.docx

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T/SZBSIA006-202X

IC类半导体固晶机技术规范

1范围

本文件规定了半导体固晶机的术语和定义、结构与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、使用说明书与标志、包装、运输和储存

。

本文件适用于IC类半导体固晶机。

2规范性引用文件

下列文件的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T5226.12019术条件

机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技

GB/T14253-2

该用户很懒，什么也没介绍

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