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氧化铪基铁电场效应晶体管的单粒子翻转及电荷共享效应研究 (2).docx

氧化铪基铁电场效应晶体管的单粒子翻转及电荷共享效应研究 (2).docx

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    TOC\o1-3\h\z\u1.引言 4

    1.1铁电存储器（FeRAM）的发展历史与现状 4

    1.2铁电场效应晶体管（FeFET）的发展现状及概述 5

    1.3空间辐射环境及辐射效应 6

    1.3.1空间辐射环境 6

    1.3.2单粒子效应及电荷共享效应 6

    1.4本论文的研究意义与研究内容 11

    1.4.1论文研究意义 11

    1.4.2论文研究内容 12

    2.SentaurusTCAD软件介绍及模型建立 12

    3.铁电层厚度和栅极电压对铁电场效应晶体管的影响 15

    3.1铁电层厚度对铁

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