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《基于探针台的非制冷红外传感器MEMS半成品检测》.pdf

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    T/XXXXXXX—XXXX

    基于探针台的非制冷红外传感器MEMS半成品检测

    1范围

    本标准规定了基于探针台的非制冷红外传感器MEMS半成品检测的术语、技术要求、测试方法、检

    测标准等要求。

    本标准适用于基于半自动探针台针对芯片尺寸为1k×1k、640×512、384×288，像元尺寸为17、

    12um的非制冷红外探测器半成品测试工作。其他类型探针台及其余尺寸探测器芯片亦可参照使用。

    2规范性引用文件

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