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第3章电容式传感器 3.1电容式传感器 3.2电容式传感器的输出电路及等效电路 3.3影响电容传感器精度的因素及提高精度的措施 3.4电容式传感器的应用什么是电容器？电容器由两个用介质（固体、液体或气体）或真空隔开的电导体构成。概念:电容式传感器是将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器。优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。应用：用于等测量压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量之。3.1电容式传感器3.1.1基本工作原理电容式传感器是一个具有可变参数的电容器。A—极板相对覆盖面积；d—极板间距离；εr—介质材料的相对介电常数；ε0—真空介电常数，ε0＝8.85pF/m；ε—电容极板间介质的介电常数。当被测参数A,ε或d发生变化时,电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变,而仅改变其中一个参数,就可把该参数的变化转换为电容量的变化,通过测量电路就可转换为电量输出。因此,电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。改变平行极板间距d的传感器可以测量微米数量级的位移，变化面积A的传感器则适用于测量厘米数量级的位移，变介电常数式电容式传感器适用于液面、厚度的测量。变极距(d)型:(a)、(e)变面积型(S)型:(b)、(c)、(d)、(f)、(g)（h）变介电常数(ε)型:（i）～(l)3.1.2电容式传感器的线性及灵敏度1.变极距（间距）型电容传感器极板面积为A，初始距离为d0，以空气为介质（er=1），电容器的电容为若电容器极板距离初始值d0减小Dd，其电容量增加DC，即由上式，电容的相对变化量为，按幂级数展开得略去非线性项（高次项），则得近似的线性关系式电容传感器的灵敏度为极间距越小，利于提高灵敏度。物理意义：单位位移引起的电容量的相对变化量的大小。略去高次项（非线性项）引起的相对非线性误差为可见极间距越小，利于提高灵敏度，但是非线性误差增加。且d0过小时，容易引起电容器击穿。在实际应用中，为提高灵敏度，减小非线性，大都采用差动结构。改善击穿条件的办法是在极板间放置高介电常数材料云母片等介电材料。（1）差动变间隙式电容传感器在差动式电容传感器中，其中电容器C1的电容随位移Δd的减小而增大时，另一个电容器C2的电容则随着Δd的增大而减小。它们的特性方程分别为总的电容变化量电容的相对变化量为略去高次项,近似成线性关系差动电容式传感器的灵敏系数为差动电容式传感器的相对非线性误差近似为结论：差动式比单极式灵敏度提高一倍，且非线性误差大为减小。由于结构上的对称性，它还能有效地补偿温度变化所造成的误差。（2）固定介质与可变间隙式电容传感器减小极间隙可提高灵敏度，但易击穿。为此，经常在两极板间加一层云母或塑料等介质，以改变电容的耐压性能。由此构成如图所示的固定介质与可变间隙式电容传感器。由关系,,2.变面积型电容传感器板状线位移变面积型

（1）线位移式电容传感器极板起始覆盖面积为A=a×b，沿活动极板宽度方向移动Δa，则改变了两极板间覆盖的面积，忽略边缘效应，改变后的电容量为电容的变化量为灵敏度为灵敏度系数KC为常数，可见减小极板宽度a可提高灵敏度，而极板的起始覆盖长度b与灵敏度系数KC无关。但b不能太小，必须保证b＞＞d(极距)，否则边缘处不均匀电场的影响将增大。平板式极板作线位移最大不足之处是对移动极板的平行度要求高，稍有倾斜会导致极距d变化，影响测量精度。因此在一般的情况下，变面积式的电容传感器常作成圆柱式的。同心圆筒形线位移电容式传感器（2）圆柱式线位移电容传感器在不计边缘效应影响时，圆柱式的电容器的电容量为式中l——外圆柱筒与内圆柱重叠部分长度（高度）；r2——外圆柱内径；