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面向X-Y精密伺服平台的鲁棒跟踪控制策略与实践研究

一、引言

1.1研究背景

在现代工业发展进程中，科技的飞速进步推动着各行业对生产精度与效率的追求达到了前所未有的高度。从精密电子制造中芯片的细微加工，到高端光学仪器生产里镜片的超精密打磨，再到生物医疗领域中细胞级别的操作，众多关键生产环节对精密控制技术提出了严苛要求。在这些复杂且高精度的生产场景背后，X-Y精密伺服平台作为实现精确位置控制的关键设备，其重要性日益凸显。

X-Y精密伺服平台能够在二维平面内实现高精度的定位与运动控制，广泛应用于电子制造、半导体加工、光学检测、医疗器械制造等多个前沿产业。在电子制造领域，随着电子产