垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺：参数、影响与优化策略.docx

下载文档

1
0
约2.33万字
约 20页
2025-11-10 发布于上海
举报
版权申诉
保障服务

垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺：参数、影响与优化策略.docx

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺：参数、影响与优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

垂直腔面发射激光器（Vertical-CavitySurface-EmittingLaser，VCSEL）作为一种独特的半导体激光器，自概念提出以来，历经多年的深入研究与持续发展，已在众多领域展现出不可或缺的重要作用。在光通信领域，随着信息时代对高速、大容量数据传输需求的爆炸式增长，VCSEL凭借其卓越的高速调制特性、低阈值电流以及易于二维集成等显著优势，成为短距离光通信链路的核心光源，有力推动了数据中心内部高速互联、光纤到户（FTTH）等应用的飞速发展，大幅提升了数据传输的速率与稳定性，满足了人们