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等离子体化学考试题及答案

一、单项选择题（每题2分，共20分）

1.以下哪种气体较容易形成等离子体？（）

A.氮气B.氢气C.氩气D.氧气

2.等离子体中粒子的主要运动形式不包括（）

A.热运动B.电场作用下的定向运动C.布朗运动D.磁场作用下的回旋运动

3.低温等离子体的特点是（）

A.电子温度和气体温度都很高B.电子温度高，气体温度低

C.电子温度低，气体温度高D.电子温度和气体温度都很低

4.等离子体化学中，辉光放电属于（）

A.高温等离子体B.热等离子体C.低温等离子体D.平衡等离子体

5.等离子体产生的主要方法不包括（）

A.气体放电B.光电离C.热电离D.化学反应

6.下列哪项不是等离子体的基本参数（）

A.密度B.温度C.压强D.颜色

7.等离子体化学气相沉积可用于制备（）

A.金属材料B.陶瓷材料C.高分子材料D.以上都可以

8.射频等离子体的频率范围一般是（）

A.1-10kHzB.10-100kHzC.100kHz-1GHzD.1-10GHz

9.等离子体蚀刻技术主要应用于（）

A.半导体制造B.金属加工C.纺织印染D.食品加工

10.大气压等离子体的优点是（）

A.设备简单B.处理效率高C.可在开放环境下操作D.以上都是

二、多项选择题（每题2分，共20分）

1.等离子体按温度可分为（）

A.高温等离子体B.低温等离子体C.热等离子体D.冷等离子体

2.等离子体中的粒子包括（）

A.电子B.离子C.中性原子D.自由基

3.气体放电产生等离子体的方式有（）

A.直流放电B.射频放电C.微波放电D.脉冲放电

4.等离子体化学的应用领域有（）

A.材料表面改性B.废气处理C.生物医学D.照明

5.等离子体化学气相沉积的影响因素有（）

A.气体流量B.沉积温度C.等离子体功率D.反应气体种类

6.以下哪些属于低温等离子体的应用（）

A.等离子体刻蚀B.等离子体聚合C.等离子体熔炼D.等离子体喷涂

7.等离子体处理材料表面可以改变材料的（）

A.亲水性B.硬度C.粗糙度D.颜色

8.影响等离子体密度的因素有（）

A.气体种类B.放电功率C.气体压强D.电极间距

9.等离子体在环保方面的应用包括（）

A.处理有机废气B.处理废水C.处理固体废弃物D.净化空气

10.以下关于等离子体说法正确的是（）

A.是物质的第四态B.具有导电性C.包含大量带电粒子D.可通过多种方式产生

三、判断题（每题2分，共20分）

1.等离子体中电子和离子的数目一定相等。（）

2.热等离子体中电子温度和气体温度接近平衡。（）

3.只有在高真空环境下才能产生等离子体。（）

4.等离子体化学气相沉积只能制备无机薄膜。（）

5.射频等离子体比直流等离子体更适合大面积处理。（）

6.等离子体蚀刻速率只与等离子体密度有关。（）

7.大气压等离子体处理效果不如低气压等离子体。（）

8.等离子体中的自由基具有很高的活性。（）

9.等离子体处理材料不会改变材料的内部结构。（）

10.微波等离子体的能量密度比射频等离子体低。（）

四、简答题（每题5分，共20分）

1.简述等离子体化学的主要研究内容。

答：研究等离子体的产生、特性，等离子体中粒子间相互作用及反应机理，以及利用等离子体进行材料表面改性、化学合成、刻蚀、镀膜等应用研究。

2.说明低温等离子体在材料表面改性中的作用原理。

答：低温等离子体含活性粒子，如自由基、离子等。这些粒子撞击材料表面，引发表面化学反应，改变表面化学组成和结构，从而改善材料的亲水性、粘结性等性能。

3.简述等离子体化学气相沉积的基本过程。

答：首先将反应气体引入反应室形成等离子体，活性粒子在基底表面吸附、反应，发生化学反应生成固态产物并沉积在基底上，最终形成薄膜等涂层。

4.列举两种提高等离子体密度的方法。

答：一是增加放电功率，为气体电离提供更多能量产生更多带电粒子；二是适当提高气体压强，使气体分子间碰撞几率增加，利于电离提高等离子体密度。

五、讨论题（每题5分，共20分）

1.讨论等