光伏制造流程讲解.pptxVIP

光伏制造流程讲解

演讲人：

日期:

CATALOGUE

目录

01

02

03

04

硅料处理阶段

组件组装工艺

电池片制造核心

硅片加工环节

05

06

工厂支持系统

性能测试验证

硅料处理阶段

01

多晶硅原料提纯

冶金级硅精炼

通过高温还原石英砂中的二氧化硅，得到纯度约98%的冶金级硅，作为后续提纯的基础原料。

化学气相沉积（CVD）提纯

采用西门子法或流化床法，将冶金级硅与氯化氢反应生成三氯氢硅，再通过高温分解和氢气还原，得到纯度达99.9999%以上的电子级多晶硅。

尾气回收与循环利用

提纯过程中产生的副产物（如四氯化硅）需经过氢化处理转化为三氯氢硅，实现资源循环利用并降低环境污染。

单晶硅棒生长（直拉法）

将高纯度多晶硅放入石英坩埚中加热至1420℃熔融，通过籽晶定向诱导晶体生长，严格控制温度梯度和旋转速度以确保晶格一致性。

籽晶引晶与熔融控制

通过精确调控拉速（通常0.5-2mm/min）和坩埚升降速度，使硅棒直径保持恒定（常见8英寸或12英寸），减少位错缺陷。

晶体等径生长阶段

生长完成后缓慢降温以避免热应力裂纹，并通过退火处理进一步消除晶体内部应力，提升电学性能。

收尾与冷却工艺

01

02

03

硅锭切割与清洗

金刚线多线切割技术

使用直径0.1mm以下的金刚石涂层钢丝线，配合碳化硅砂浆或纯水冷却液，将硅锭切割成180-200μm厚度的硅片，切割损耗控制在0.2mm以内。

超声清洗与化学蚀刻

切割后的硅片需经过碱液（如KOH）去除表面损伤层，再通过氢氟酸和硝酸混合液清除金属杂质，最后用去离子水高频超声清洗。

表面钝化处理

通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）在硅片表面形成氮化硅减反射层，同时实现表面钝化以降低复合速率。

硅片加工环节

02

线锯切割硅锭

金刚石线锯技术

采用镀有金刚石颗粒的钢丝进行高速切割，相比传统砂浆切割可提升效率30%以上，同时减少硅料损耗和环境污染。

切割厚度控制

通过精密张力系统和冷却液调控，将硅锭切割成180-200μm厚度的硅片，需确保厚度均匀性误差小于±5μm以保障后续电池片性能。

晶向定位优化

切割前需通过X射线衍射仪确定硅锭晶向（通常为100或111），避免切割角度偏差导致硅片机械强度下降或光吸收效率降低。

硅片表面抛光

化学机械抛光（CMP）

采用二氧化硅碱性抛光液配合聚氨酯抛光垫，分粗抛和精抛两阶段处理，使表面粗糙度降至0.3nm以下，减少光散射损失。

损伤层去除

通过氢氟酸-硝酸混合溶液蚀刻去除切割产生的10-15μm表面微裂纹层，同时形成织构化表面以增强光捕获能力。

洁净度控制

抛光后需经兆声波清洗和超纯水冲洗，确保表面金属杂质浓度低于1×10¹⁰atoms/cm²，避免影响PN结形成。

边缘倒角与缺陷检测

激光倒角工艺

采用532nm脉冲激光对硅片边缘进行45°斜面处理，消除切割毛刺并降低碎片率，倒角宽度需控制在0.2-0.5mm范围内。

全自动光学检测

通过多光谱成像系统扫描硅片表面，识别微裂纹、位错等缺陷，检测精度达0.1μm，不良品自动分拣剔除。

载流子寿命测试

使用微波光电导衰减法（μ-PCD）测量少子寿命，合格硅片寿命值应大于50μs，确保后续电池转换效率超过22%。

电池片制造核心

03

制绒与表面织构化

通过化学蚀刻或机械刻蚀在硅片表面形成微米级绒面结构，有效降低光反射率，增加光吸收路径，提升电池片的光电转换效率。

表面粗糙化处理

利用碱性溶液对单晶硅进行选择性腐蚀，形成金字塔状织构，优化入射光的散射特性，减少表面光损失。

各向异性腐蚀技术

在制绒后需彻底清洗硅片表面残留的化学试剂，并去除切割过程中产生的机械损伤层，确保后续工艺的稳定性。

清洗与去损伤层

01

02

03

磷扩散形成PN结

01.

高温扩散工艺

将硅片置于含磷源的高温炉中，通过气相扩散使磷原子掺入硅片表层，形成N型半导体层，与P型基底构成PN结。

02.

浓度梯度控制

精确调控扩散温度和时间，确保磷掺杂浓度从表面向内部递减，形成理想的耗尽区宽度，优化载流子分离效率。

03.

边缘刻蚀与隔离

扩散后需去除硅片边缘的磷硅玻璃层并进行隔离处理，防止边缘漏电影响电池性能。

减反射层镀膜

氮化硅薄膜沉积

采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术在电池表面镀制氮化硅减反射层，通过光学干涉效应降低表面反射率至5%以下。

双层膜结构设计

减反射层同时具备表面钝化功能，可有效降低表面复合速率，提升少子寿命，使电池开路电压提高10-15mV。

部分工艺采用氧化硅/氮化硅双层膜，进一步拓宽减反射波段范围，增强对紫外和红外光的吸收能力。

钝化作用

组件组装工艺

04

电池片串焊与叠层

电池片分选与测试

在串焊前需对电池片进行严格分选，确保电性能参数（如转换效率、开路电压等）一致性，避免因性能差