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微结构调控压阻式传感器制备工艺与灵敏性能分析

目录

微结构调控压阻式传感器制备工艺与灵敏性能分析（1）．．．．．．．．．．3

文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1功效与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

压阻式传感器基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1压阻效应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.2传感器结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

微结构调控方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.1微图案化技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.2微结构成型技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.3材料改性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

制备工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

4.1材料制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

4.2结构制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

4.3性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

灵敏性能分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

5.1灵敏度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

5.2线性度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

5.3温度稳定性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

5.4防噪性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

6.1研究成果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

6.2局限与未来方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

微结构调控压阻式传感器制备工艺与灵敏性能分析（2）．．．．．．．．．45

文档简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

微结构调控压阻式传感器基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

2.1压阻式传感器的基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

2.2微结构对压阻式传感器性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57

2.3传感器的工作机理及分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60

微结构调控压阻式传感器的制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61

3.1材料选择与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62

3.1.1导电材料的选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64

3.1.2表面处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65

3.2微结构的设计与制造．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68

3.2.1结构设计原则．．．．．．．．．．．．．．．．