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ICP光源系统的移动台设计陈琪,等
ICP光源系统的移动台设计
DesignoftheMovementStationforICPLightSourceSystem
陈琪连磊磊高勇耿恒宝
(中国地质大学(武汉)机械与电子信息学院,湖北武汉430074)
摘要:为改善ICP光源接口的采样能力,引入了一种三维移动装置。光源安装台固定于三维移动装置顶部,构成ICP光源系统移动
台。针对移动台的移动精度和行程等需求,对各步进系统的支承、导向和传动结构进行了研究。考虑到设计中可能对光源产生的干
扰因素,采用接触式限位开关实现行程保护,并对光源安装台的结构进行了设计。试验结果表明,ICP光源系统移动台通过软件控制
能够准确移动至最佳工作位置,有效改善了采样锥对等离子体的采样能力。
关键词:电感耦合等离子体(ICP)三维移动滚动摩擦螺旋传动限位开关
中图分类号:TH843文献标志码:A
Abstract:InordertoimprovethesamplingcapabilityoftheICPlightsourceinterface,the3Dmovementdeviceisintroduced.Thelightsource
mountingbaseisfixedonthetopofthemovementdevicetoconstructthemovingbenchoftheICPlightsourcesystem.Inaccordancewiththe
movementaccuracyandstrokedemands,thesupporting,guidingandtransmissionstructuresofeachsteppingsystemareresearched.Considering
theinterferingfactorsinthedesigntolightsource,thestrokeprotectionisrealizedbyadoptingcontacttypelimitswitches,andthestructureofthe
mountingbaseofthelightsourceisdesigned.TheexperimentalresultsindicatethatthemovementbenchofICPlightsourcecanbeprecisely
controlledviasoftwaretoreachoptimumworkingposition,andeffectivelyimprovesthesamplingcapabilityofthesamplingconetoplasma.
Keywords:Inductively-coupledplasma(ICP)3DmovementFrictionofrollingScrewtransmissionLimitswitch
该ICP光源三维移动台由三维移动台和光源安装台组
0引言
成。三维移动台的机械系统由三个互相独立的步进系
[2]
电感耦合等离子体-质谱仪(inductivelycoupled统组成,并采用步进电机驱动控制;各步进系统相互
plasma-massspectrometry,ICP-MS)采用以电感耦合等独立,便于实现X、Y、Z三个方向上的精密移动与单向
离子体作为离子源(又称“ICP光源”),以质谱仪进行调控。光源安装台位于设备顶层,用于安装固定光源
检测的无机多元素分析技术。如何将等离子体有效稳
我的文档主要集中的行业是石油化工和安全生产，从事石油化工行业并且取得了中级注册安全工程资格。精通炼油工艺方面的工艺、安全、设备。希望通过平台共享自己的知识和经验。
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