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MEMS传感器在汽车性能测试中的应用亓凤，等

MEMS传感器在汽车性能测试中的应用

ofMicro--electro-·mechanical··sensorinAutomotivePerformanceTest

Application

开凤顾昔

(上海工业自动化仪表研究院，上海200233)

摘要：针对目前用于检测汽车制动性能与机动车方向盘转向力一转向角的仪器存在体积庞大、安装复杂、连线繁多、操作技术要求

高等特点，提出了采用MEMS型加速度传感器和陀螺传感器为核心检测元件制成的汽车制动性能测试仪器。该测试仪具有便携化、

智能化等优点，针对性地解决了以上困扰，为MEMS传感器的应用扩展了新领域。

关键词：MEMS传感器汽车制动性能转向力转向角检测仪

中图分类号：TH89文献标志码：A

Abstract：Atinstrumentsusedforbrakeofautomotivesandforceofthewheelof

present-themeasuringperformancesteeringandⅢldesteering

motor-drivenvehiclesareinintechnicallevelinac-

installation。excessiveconllectiollg-andrequestinghigheroperation．In

hugesize．complex

cordancewiththistesterMEMSacceleration∞ngorandI*ngorasisin-

situation。thebyadoptinggymco陀detectingcomponentsproposed．This

strumentisandovercomestheoftheMEMSzell$or$．

portableintelligent-andpreviousfatigue．Thestrategyexpandsapplicablescopes

SensorBrakeofautomotivesforceTester

Keywords：Micro·electro—mechanicalperformanceSteeringSteeringangle

system(MEMS)

速度计中，日系厂商主要采用压阻式技术，欧美厂商则

0引言

采用电容式技术。经功能综合分析发现，电容式技术

微机电系统(MEMS)的研究发展迅速，在物质结表现更好，发展潜力较大，以下着重介绍其原理。

构、尺寸、材料、制造工艺和工作原理等方面远远超出在电容式加速度计的结构中，有可移动的质量块、

了传统机械电子的概念和范畴。MEMS是微电子技术中间极板以及相对的固定端作为电容的两极(上下极

的拓宽和延伸，它将微电子、微机械、传感器等技术相板)。G．单元等效电路如图1所示。

互融合，实现了微电子与机械融为一体的系统，是一种

面向新世纪的高新技术…。

MEMS传感器目前广泛应用于汽车电子和信息电

子领域。在汽车的操控性及安全性方面，以加速度计居蛋：j

多，如低重力加速度计可用于电子停车制动(EPB)、安

图1G一单元等效电路

全带预紧器、防侧翻和汽车动态控制(VDC)中，高重力