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2025年负胶稀释剂项目可行性研究报告
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TOC\o1-3\h\z\u3540摘要 3
26743一、负胶稀释剂技术底层逻辑与分子作用机制解析 5
178961.1溶剂-树脂相互作用的热力学与动力学机制 5
305211.2不同稀释体系对光刻图形分辨率的微观影响路径 7
44221.3杂质控制阈值与工艺窗口的耦合关系建模 10
22613二、全球主流负胶稀释剂技术路线横向解构与性能对标 13
97172.1日美欧三系配方体系的组分差异与性能边界对比 13
279952.2高纯度溶剂合成路径的能效与副产物控制效率比较 15
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