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2025年半导体设备维护技术考试题库
一、单项选择题（每题1分，共30题）
1.半导体设备维护中，以下哪项不是预防性维护的主要内容？
A.定期检查
B.更换易损件
C.恶性故障排除
D.设备清洁
2.在半导体设备维护中，使用哪种类型的润滑油通常是不可取的？
A.矿物油
B.合成油
C.硅油
D.任何类型的油
3.半导体设备维护中，哪个工具主要用于检测电路中的开路和短路？
A.万用表
B.示波器
C.钳形电流表
D.热像仪
4.在进行半导体设备维护时，以下哪项是首要的安全措施？
A.穿戴个人防护装备
B.断开电源
C.使用防静电手环
D.以上都是
5.半导体设备中的真空系统，其主要作用是什么？
A.提供冷却效果
B.排除空气
C.增加压力
D.传输信号
6.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的冷却系统故障？
A.冷却液泄漏
B.冷却风扇损坏
C.冷却管堵塞
D.以上都是
7.半导体设备维护中，以下哪项不是常见的传感器类型？
A.温度传感器
B.压力传感器
C.流量传感器
D.位置传感器
8.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的机械故障？
A.传动轴断裂
B.齿轮磨损
C.滑动轴承损坏
D.以上都是
9.半导体设备维护中，以下哪项是常见的电气故障？
A.电路短路
B.绝缘损坏
C.接触不良
D.以上都是
10.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的软件故障？
A.系统崩溃
B.程序错误
C.数据丢失
D.以上都是
11.半导体设备维护中，以下哪项是常见的真空系统故障？
A.真空泵损坏
B.真空管路泄漏
C.真空度不足
D.以上都是
12.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的冷却系统故障？
A.冷却液泄漏
B.冷却风扇损坏
C.冷却管堵塞
D.以上都是
13.半导体设备维护中，以下哪项是常见的传感器故障？
A.温度传感器失灵
B.压力传感器失灵
C.流量传感器失灵
D.以上都是
14.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的机械故障？
A.传动轴断裂
B.齿轮磨损
C.滑动轴承损坏
D.以上都是
15.半导体设备维护中，以下哪项是常见的电气故障？
A.电路短路
B.绝缘损坏
C.接触不良
D.以上都是
16.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的软件故障？
A.系统崩溃
B.程序错误
C.数据丢失
D.以上都是
17.半导体设备维护中，以下哪项是常见的真空系统故障？
A.真空泵损坏
B.真空管路泄漏
C.真空度不足
D.以上都是
18.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的冷却系统故障？
A.冷却液泄漏
B.冷却风扇损坏
C.冷却管堵塞
D.以上都是
19.半导体设备维护中，以下哪项是常见的传感器故障？
A.温度传感器失灵
B.压力传感器失灵
C.流量传感器失灵
D.以上都是
20.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的机械故障？
A.传动轴断裂
B.齿轮磨损
C.滑动轴承损坏
D.以上都是
21.半导体设备维护中，以下哪项是常见的电气故障？
A.电路短路
B.绝缘损坏
C.接触不良
D.以上都是
22.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的软件故障？
A.系统崩溃
B.程序错误
C.数据丢失
D.以上都是
23.半导体设备维护中，以下哪项是常见的真空系统故障？
A.真空泵损坏
B.真空管路泄漏
C.真空度不足
D.以上都是
24.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的冷却系统故障？
A.冷却液泄漏
B.冷却风扇损坏
C.冷却管堵塞
D.以上都是
25.半导体设备维护中，以下哪项是常见的传感器故障？
A.温度传感器失灵
B.压力传感器失灵
C.流量传感器失灵
D.以上都是
26.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的机械故障？
A.传动轴断裂
B.齿轮磨损
C.滑动轴承损坏
D.以上都是
27.半导体设备维护中，以下哪项是常见的电气故障？
A.电路短路
B.绝缘损坏
C.接触不良
D.以上都是
28.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的软件故障？
A.系统崩溃
B.程序错误
C.数据丢失
D.以上都是
29.半导体设备维护中，以下哪项是常见的真空系统故障？
A.真空泵损坏
B.真空管路泄漏
C.真空度不足
D.以上都是
30.在半导体设备维护中，以下哪项是常见的冷却系统故障？
A.冷却液泄漏
B.冷却风扇损坏
C.冷却管堵塞
D.以上都是
二、多项选择题（每题2分，共20题）
1.半导体设备维护中，以下哪些是预防性维护的主要内容？
A.定期检查
B.更换易损件
C.恶性故障排除
D.设备清洁
2.半导体设备维护中，以下哪些是常见的冷却系统故障？
A.冷却液泄漏
B.冷却风扇损坏
C.冷却管堵塞
D.冷却液污染
3.半导体设备维护中，以下哪些是常见的传感器故障？
A.温度传感器失灵
B.压力传感器失灵
C.流量传感器失灵
D.位置传感器失灵
4.半导体
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