第三节线纹尺的检定.ppt

第三节线纹尺的检定第1页，共12页，星期日，2025年，2月5日本节主要内容一、线纹尺概述：1、特点；2、主要用途；3、种类二．线纹尺的检定需定期检定，方法有两种。1、相对测量法：常用的仪器；测量原理；适用范围；测量方式2、绝对测量法：光电光波比长仪的工作原理、检定精度。第2页，共12页，星期日，2025年，2月5日任务：线纹尺的检定测量对象和被测量问题1：线纹尺是什么？（外形、特点、分类、用途）问题2：测线纹尺的什么量？测量单位和标准量长度单位-米高等级线纹尺光波波长测量方法（依规程）相对测量原理：（二等以下）仪器：光学式比长仪光电式比长仪绝对测量原理光电光波比长仪接触形式、定位、环境条件测量不确定度1等：Δ=±（0.1+0.4L）um（金属）2等：Δ=±（0.2+0.8L）um（金属）3等：Δ=±（5+10L）um（金属）标准钢卷尺：Δ=?（40+10L）um第3页，共12页，星期日，2025年，2月5日一、概述线纹尺是一种具有等分刻度的多值量具，它是以任意两条刻线间的垂直距离确定其长度的一种高精度基准器和标准器。通过它可以把精密仪器及各种精密零件的尺寸与“米”定义基准器所复现的长度联系起来，从而达到量值统一的目的。【主要用途】量传与精密测长标准。【种类】可从不同角度分类按计量学功能及材料分有:基准线纹尺（工作基准尺）；标准线纹尺;金属线纹尺；玻璃线纹尺；标准钢卷尺。第4页，共12页，星期日，2025年，2月5日第5页，共12页，星期日，2025年，2月5日二、线纹尺的检定（非接触、大尺寸）1、相对测量法原理：用精度等级比被检线纹尺高一等的标准线纹尺与被检线纹尺的同名刻线间距相比较，借助于光学或光电显微镜读出两支线纹尺刻线间距的偏差值。适用范围：主要用于二等以下线纹尺的检定。常用仪器：有光学式比长仪和光电式比长仪。问１：用线纹比长仪进行相对测量时测量的方式有哪些？并联纵动式(表2-3）并联横动式串联纵动式问２：如何消除比长仪的系统误差？第6页，共12页，星期日，2025年，2月5日2、绝对测量法用绝对测量法检定线纹尺是在光电光波比长仪上进行的。该方法适用于高精度标准线纹尺的检定。光电光波比长仪的工作原理见图2-6。问３：元件10，13的作用是什么？问４：光电光波比长仪如何鉴相？第7页，共12页，星期日，2025年，2月5日相移板和三面直角棱镜的工作原理见图2-7和图2-8。由于移相板的作用可以获得1、3象限同相，2、4象限同相的两部分光，而且它们的相位差90?。第8页，共12页，星期日，2025年，2月5日双管差动式光电显微镜12（图2-9）能对运动状态的刻线作精确的瞄准，精确可达?0.01～0.02?m。当被检线纹尺随可动角锥棱镜7移动了一个被测距离（间隔）L时，光程差的改变为2L?（k＋?）?0/n式中：k＋?—干涉条纹变化的整数级和小数级?0—激光在真空的波长问３：双管差动式光电显微镜如何实现高精度瞄准？第9页，共12页，星期日，2025年，2月5日