化学气相沉积法制备其他一维纳米材料.pptVIP

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2025-11-21 发布于广西
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化学气相沉积法制备其他一维纳米材料.ppt

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CompanyLogo化学气相沉积法制备其他一维纳米材料1234目录化学气相沉积法简介案例总结展望5总结与展望参考文献1.化学气相沉积法简介化学气相沉积是利用气态或蒸气态的物质在气相或气固界面上生成固态沉积物的技术。历史古人类在取暖和烧烤时熏在岩洞壁或岩石上的黑色碳层。20世纪60年代JohnMBlocherJr等首先提出VaporDeposition，根据过程的性质（是否发生化学反应）分为PVD和CVD。现代CVD技术发展的开始阶段在20世纪50年代主要着重于刀具涂层的应用前苏联Deryagin,Spitsyn和Fedoseev等在7