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基于PET基底的ITO/石墨烯/ITO薄膜制备工艺与光电性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，透明导电薄膜作为一种关键材料，在众多光电子器件领域发挥着不可或缺的作用。从日常生活中的液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）屏幕，到新兴的太阳能电池、触摸屏等，透明导电薄膜都承担着重要的导电和透光功能，是实现这些器件高性能运作的基础。在液晶显示器中，透明导电薄膜作为电极，能够有效传输电流，驱动液晶分子的转动，从而实现图像的显示；在太阳能电池中，它则负责收集和传输光生载流子，提高电池的光电转换效率。

然而，传统的透明导电薄膜材料——氧化铟锡（ITO），尽管具有高导电率和高透光率等优点，但也存在着一些难以忽视的缺陷。铟是一种稀有且昂贵的金属，其资源的稀缺性导致了ITO材料成本的不断攀升，这在大规模应用中成为了显著的经济负担。据相关研究表明，全球铟储量有限，且分布不均，随着对ITO需求的持续增长，铟资源的供应压力日益增大。ITO薄膜质地较脆，柔韧性差，这使得它在面对可弯曲、可折叠等新型柔性电子器件的应用需求时，显得力不从心。在柔性显示技术中，ITO薄膜无法适应基底的弯曲变形，容易出现裂纹甚至断裂，严重影响器件的性能和使用寿命。

为了克服ITO的这些缺点，寻找一种性能优异且成本低廉的替代材料成为了科研领域的研究热点。石墨烯，作为一种由碳原子组成的二维材料，自2004年被首次成功制备以来，凭借其独特的结构和优异的性能，吸引了众多研究者的目光。石墨烯具有出色的电学性能，其载流子迁移率极高，能够实现快速的电子传输；同时，它还拥有良好的光学透明性，在可见光范围内具有较高的透光率；此外，石墨烯还具备卓越的机械性能和化学稳定性，能够在各种复杂环境下保持其性能的稳定。这些优异的性能使得石墨烯成为了制备透明导电薄膜的理想候选材料。

将石墨烯与ITO相结合，制备PET基ITO/石墨烯/ITO薄膜，具有重要的研究意义和应用价值。PET（聚对苯二甲酸乙二酯）作为一种常见的柔性高分子材料，具有良好的柔韧性、机械强度和化学稳定性，是柔性电子器件常用的基底材料。通过在PET基底上构建ITO/石墨烯/ITO复合结构，可以充分发挥石墨烯和ITO的优势，实现两者性能的互补。石墨烯的高导电性和柔韧性可以有效改善ITO薄膜的电学性能和机械性能，使其在弯曲、拉伸等变形条件下仍能保持良好的导电性能；而ITO的高透光率和稳定性则可以保证复合薄膜在可见光范围内的高透光性和长期稳定性。这种复合薄膜有望满足柔性电子器件对透明导电薄膜在柔韧性、导电性和透光性等方面的严格要求，为柔性电子器件的发展提供新的材料选择和技术支持，推动柔性电子技术在可穿戴设备、折叠屏手机、柔性太阳能电池等领域的广泛应用，具有广阔的市场前景和经济价值。

1.2国内外研究现状

在国外，对于PET基ITO/石墨烯/ITO薄膜的研究开展得较早，取得了一系列具有代表性的成果。美国的一些研究团队通过化学气相沉积（CVD）法在PET基底上成功制备了高质量的石墨烯薄膜，并在此基础上采用磁控溅射技术沉积ITO薄膜，制备出了PET基ITO/石墨烯/ITO复合薄膜。他们的研究重点主要集中在优化制备工艺，以提高薄膜的电学性能和光学性能。通过精确控制CVD过程中的温度、气体流量等参数，成功制备出了层数均匀、缺陷较少的石墨烯薄膜，从而提高了复合薄膜的导电性；在磁控溅射制备ITO薄膜时，通过调整溅射功率、溅射时间等工艺参数，实现了ITO薄膜厚度和质量的精确控制，有效提高了复合薄膜的透光率。这些研究成果为PET基ITO/石墨烯/ITO薄膜的制备提供了重要的技术参考和理论依据。

韩国的科研人员则在研究中注重复合薄膜的结构设计和性能优化。他们通过在石墨烯层与ITO层之间引入缓冲层，改善了两者之间的界面兼容性，有效提高了复合薄膜的稳定性和导电性。缓冲层的引入可以减少石墨烯与ITO之间的晶格失配和应力集中，降低界面电阻，从而提高复合薄膜的整体性能。他们还对复合薄膜在柔性电子器件中的应用进行了深入研究，将制备的薄膜应用于柔性OLED显示器件中，实现了高亮度、高对比度的显示效果，展示了PET基ITO/石墨烯/ITO薄膜在柔性显示领域的巨大应用潜力。

国内在该领域的研究也取得了显著进展。众多科研机构和高校纷纷开展相关研究，在制备工艺、性能优化和应用探索等方面都取得了丰硕的成果。一些研究团队采用改进的氧化还原法制备石墨烯，并结合旋涂、热退火等工艺，成功制备出了性能优良的PET基ITO/石墨烯/ITO薄膜。在氧化还原法制备石墨烯的过程中，通过优化