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MX4000D-111KL微波电源工作原理概述

MX4000D-111KL微波电源是德国MUEGGE公司制造，它与MUEGGE

MH2000S-218BB微波功率发生器（又称微波头）组成微波功率发生和控制系

统，应用于PECVD设备中的专用产品。它的系统设计方案与性能特征最终是

对微波头正常工作实现有效的控制和调整，故在描述微波电源工作原理时，

本文紧紧围绕如何实现对微波头的工作进行实时控制和安全保护，进行原理

性介绍，力图让操作使用者从系统技术原理上初步了解电路的物理工作过程。

1、微波功率系统组成及工作过程

如图1-1所示：

三相和单相供

循环水冷却

电电源输入

IN

X1

MX40000-111KL微波电源

3×380V/8A

220V/2A

OUT

X4

CAN接口X2X3

接口卡

循环水冷却

USB接口X1X3IN

计算机

MH2000S-218BB微波头OUT

微波功率输出

2.45GHz

最大4.4kW脉冲输出

图1-1微波功率系统组成框图

当操作者通过安装了CAN-BUS用户应用程序计算机显示界面，设定好微

波功率系统的工作参数指令，例如：峰值功率3KW功率开启时向8ms关断

时间18ms，被MX4000D-111KL微波电源系统CPU控制模块接收。经CPU

译码解析，转换为微波电源对微波头的控制命令，这时微波电源的主要工作

任务如下：

给微波头磁控管电路提供电力能量。通过图1-1中X2线缆接口向微波头

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X1接口输入交流～220V电压源。

控制微波头磁控管灯丝电路继电器的吸合加电流的加热启动。也是通过

X2线缆接口。

给微波头磁控管阴极提供受控的负直流高压，使得磁控管产生的微波开关

时间状态和功率数值始终符合操作者设定的指令要求值。

经X3接受微波头微波功率经取样检波后的功率电平反馈信号，被CPU控

制主板读取并运算后处理。由CAN总线译码传输至计算机显示界面，显示当

前微波系统的功率数值，反射驻波系数等参数值。每个开关时间周期（约

25ms）更新数据一次。

实时监控微波头磁控管工作温度，功率输出状态及传输损耗，一旦出现异

常，立即启动中断保护程序，切断供电电源。

微波电源高压系统本身自动保护始终处于正常工作状态，一旦出现异常，

立即启动中断保护程序，切断系统供电电源。

2、微波电源系统组成和工作原理

如图2-0所示，图中标示符号“A”“K”“X”与MX4000D-1