Aerotech大理石集 运动系统 集成Z轴平台 直线电机驱动系统 用户手册.pdf

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DedicatedtotheScienceofMotion

大理石集成运动系统IGM

什么是IGM

• 大理石集成运动(IGM)是一种运动

平台,其中核心直线运动部件,包

括轴承、编码器和驱动机构,直接

设计和组装在大理石结构上。

• IGM系统可以使用机械或空气轴承,

线性马达或滚珠丝杠驱动器,以及

一系列从光学位置编码器到激光干

涉仪的反馈装置。

运动部件,如轴承导

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