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基于技术生命周期法洞察半导体光学光刻技术的演进与未来走向

一、引言

1.1研究背景

在当今数字化信息时代，半导体产业作为信息产业的基石，其重要性不言而喻。半导体芯片广泛应用于计算机、通信、消费电子、汽车电子、工业控制等诸多领域，成为推动现代社会科技进步和经济发展的核心驱动力之一。从智能手机中实现高速数据处理和流畅用户体验的核心芯片，到数据中心里支撑海量数据存储与运算的高性能处理器，半导体芯片无处不在，犹如电子设备的“大脑”，决定着设备的性能与功能。

光刻技术作为半导体制造中最为核心的工艺环节，占据着举足轻重的关键地位。光刻的本质是将设计好的集成电路图案从掩模版转移到硅片等半导体材料表面，通