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HotWorkingTechnology2021,Vol.50,No.6
热力耦合镀膜腔体的数值化设计及分析
张而耕s李康s陈强\潘文高2,李朝阳2
(1.上海应用技术大学上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心，上海201418;2.上海离原环境科
技有限公司，上海200241)
摘要：物理气相沉积（PVD)是材料表面改性的主流发展方向，但国产化PVD设备的真空度低、密封性差及工艺
性能失稳是导致国内PVD技术徘徊不前的主要原因。对PVD设备腔体的设计方法进行介绍，建立几何模型，并借助计
算机数值模拟分析圆柱和正六面体炉腔在高真空及高温度状态下应力和变形情况，得出腔体几何形状与应力、变形集
中的关系，并对比了两种腔体的分析数据。结果表明，两种腔体的主要受力和变形位置均与开孔位置有关，圆柱腔体的
变形和受力都小于正六面体形腔体。
关键词：PVD腔体；数值模拟;应力；变形；热-结构耦合
DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.
中图分类号：TG174.444文献标识码：A文章编号：1001-3814(2021)6-0098-04
NumericalDesignandAnalysisofThermallyCoupledCoatingCavity
ZHANGErgeng1,LIKang1,CHENQiang1,PANWengao2,LIChaoyang2
(1.ShanghaiEngineeringResearchCenterofPhysicalVaporDeposition(PVD)SuperhardCoatingandEquipment,Shanghai
InstituteofTechnology,Shanghai201418,China;2.ShanghaiLiyuanEnvironmentalTechnologyCo.,Ltd.,Shanghai200241,
China)
AbstractPhysicalvapordeposition(PVD)isthem：aindevelopmentdirectionofthematerialsurfacemodification,butthe
vacuumdegreeofthedomesticPVDequipmentislow,thetightnessdifferenceandtheprocessperformanceinstabilityarethe
mainreasonsleadingtothedevelopmentofthedomesticPVDtechnology.ThedesignmethodofPVDequipmentcavitywas
introduced,andthegeometricmodelwasestablished.Withthehelpofcomputernumericalsimulation,thestressand
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