原创力文档Seite2
TL235:2002-08
3.4Schichtdicke
Pr¸fungmitdemMangetverfahrennachDINENISO2178odermitdemLichtmikroskop.
Anforderung:(2bis8)µm.
3.5Kristalldimension
DieUntersuchungwirdmitdemRasterelektronenmikroskopbeieinerAusschnittsvergrˆflerungV=
600:1durchg
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