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第1期机械设计与制造

2023年1月MachineryDesignManufacture169

非球面面型检测新原理及误差源分析建模研究

郝芯,吴翠红,于博²

（1.长春电子科技学院机电工程学院，吉林长春130012;2.长春工程学院机电工程学院，吉林长春130012）

摘要：针对当前非球面元件面型检测设备存在的不足，提出了一种基于最接近圆法的非球面面型检测新原理，描述了该

检测原理的实施过程，建立了该检测原理的数学模型，同时，以该原理为核心构建了原理样机的总体结构，并解析了原理

样机的检测轨迹；针对原理样机的实体模型进行了综合误差源分析，基于多提系统理论建立了原理样机的拓扑结构、相

邻体的理想变换矩阵和实际运动变换矩阵，并最终建立了原理样机的综合误差模型，为后续原理样机实施误差补偿奠定

了坚实基础。

关键词：非球面；面型检测；最接近圆；多体系统理论；误差分析；误差建模

中图分类号：TH16;TH39文献标识码：A文章编号：1001-3997(2023)01-0169-06

TheNewPrinciplesofAsphericalSurfaceDetectionand

AnalysisofModelingofErrorSources

HAOXin,WUCui-hong,YUBo?

(1.ChangchunInstituteofElectronicTechnologyandMechanicalandElectricalEngineering,JilinChangchun130012,Chi-

na;2.SchoolofMechanicalandEngineerandMechanicalandElectricalEngineering,JilinChangchun130012,China)

Abstract:Inviewoftheshortcomingsofthecurrentasphericelementsurfacedetectionequipment,anewprincipleofasphericsur-

facedetectionbasedontheclosestcirclemethodisproposed,theimplementationprocessofthedetectionprincipleisdescribed,

andthemathematicalmodelofthedetectionprincipleisestablished.Basedonthisprinciple,theoverallstructureoftheprinciple

prototypewasconstructed,andthedetectiontrajectoryoftheprincipleprototypewasanalyzed;acomprehensiveerrorsourceanal-

ysiswascarriedoutforthephysicalmodeloftheprincipleprototype,andthetopologicalstructureandphaseoftheprincipleproto-

typewereestablishedbasedonthemulti-systemtheory.Theidealtransformationmatrixoftheneighborsandtheactualmotion

transformationmatrix,andfinallythecomprehensive