第07章压电式传感器.pptVIP

假设一恒定力F作用于压电器件，产生电量q，则输出电压：压电传感器本身产生的电荷量很小，且传感器本身的内阻很大（压电元件漏电阻Ra一般在1013～1014?以上），因此输出信号很微弱，给后续测量电路提出很高的要求。由于传感器的内阻及后续测量电路输入电阻Ri非无限大，电路将按指数规律放电，造成测量误差。电路放电时间常数?=(Ra//Ri)?C?Ri?C（一般RaRi），为了减小误差，Ri越大越好。§7.4压电传感器等效电路第30页，共42页，星期日，2025年，2月5日江苏科技大学机械工程学院第07章压电式传感器第1页，共42页，星期日，2025年，2月5日正压电效应某些物质在一定方向受到压力或拉力作用而发生改变时，其表面上会产生电荷；若将外力去掉后，它们又重新回到不带电的状态，这种现象称为正压电效应逆压电效应在压电材料的两个电极上加以交流电压，压电片会产生机械振动，即压电片在电极方向上有伸缩的现象，压电材料的这种现象称为“电致伸缩效应”，也称“逆压电效应”。压电效应(piezoelectriceffect)§7.1压电效应可逆型换能器第2页，共42页，星期日，2025年，2月5日石英晶体的压电效应演示逆压电效应机械能正压电效应电能§7.1压电效应第3页，共42页，星期日，2025年，2月5日常见的压电材料分为三类：1)单晶压电晶体(如石英、酒石酸钾钠等)2)多晶压电陶瓷(如钛酸钡、锆钛酸铅、铌镁酸铅等)3)高分子材料(聚偏二氟乙烯(PVDF))。§7.1压电效应第4页，共42页，星期日，2025年，2月5日石英晶体的压电效应理想形状：六棱柱，两端为对称的棱锥，共30个晶面。纵轴z-z称作光轴，通过六棱柱棱线而垂直于光轴的轴线x-x称作电轴，垂直于棱面的轴线y-y称作机械轴——右螺旋法则。§7.1压电效应第5页，共42页，星期日，2025年，2月5日通常从晶体上沿三轴线切下一个平行六面体切片，即其晶面分别平行z-z、y-y、x-x轴线。切片在受到沿不同方向的作用力时，会产生不同的极化作用，主要的压电效应有纵向效应、横向效应和切向效应三种。§7.1压电效应第6页，共42页，星期日，2025年，2月5日§7.1压电效应压电效应作用方向图例：石英晶体的压电效应晶片在电轴x-x方向上受到压应力：结论：当石英晶体切片受x向压力作用时，所产生的电荷量qxx与作用力Fx成正比，但与切片的几何尺寸无关。第7页，共42页，星期日，2025年，2月5日§7.1压电效应在横向(y-y)施加作用力结论：当沿着机轴y-y方向施加压力时，产生的电荷量与晶片几何尺寸有关，而该电荷的极性则与沿电轴x-x方向加压力时产生的电荷极性相反(式中负号)。第8页，共42页，星期日，2025年，2月5日压电元件材料一般有三类：(1)单晶压电晶体（如上述的石英晶体）(2)多晶压电陶瓷(3)新型压电材料---压电半导体---高分子压电材料§7.2压电材料的分类及特性第9页，共42页，星期日，2025年，2月5日1.石英晶体一种天然晶体，压电系数d11＝2.31×10-12C/N；莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。优点：转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃(压电系数不随温度而改变)、工作湿度高达100%、稳定性好。§7.2压电材料的分类及特性第10页，共42页，星期日，2025年，2月5日x轴：电轴或1轴；y轴：机械轴或2轴；z轴：光轴或3轴。“纵向压电效应”：沿电轴(x轴)方向的力作用下产生电荷“横向压电效应”：沿机械轴(y轴)方向的力作用下产生电荷在光轴(z轴)方向有作用力时，不会产生压电效应。§7.2压电材料的分类及特性第11页，共42页，星期日，2025年，2月5日天然石英晶体外形1.石英晶体§7.2压电材料的分类及特性第12页，共42页，星期日，2025年，2月5日石英晶体切片及封装石英晶体薄片双面镀银并封装§7.2压电材料的分类及特性第13页，共42页，星期日，2025年，2月5日石英晶体振荡器（晶振）石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出晶振§7.2压电材料的分类及特性第14页，共42页，星期日，2025年，2月5日2.压电陶瓷人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。压电陶