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摘要
摘要
传统机械定位平台由于存在传动部件体积大、精度低以及结构复杂等固有
缺陷，难以满足高精度定位领域日益提升的性能要求。相比之下，依靠电磁力实
现直接驱动的平面电机，具有高定位精度、快速动态响应等优点，在当前精密制
造、精密定位以及半导体制造等领域具有广泛的应用前景。本研究设计了一种新
型的磁驱动平面电机，并围绕其结构设计、电磁特性分析、数学建模、控制策略
设计与优化、硬件电路与软件程序设计、在线监控系统设计、样
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