高熵合金涂层的磁控溅射制备及性能研究进展.pdfVIP

《热加工工艺》2022年3月第51卷第6期

高爛合金涂层的磁控溅射制备及性能研究进展

刘鑫，王彦龙，闫贞，王金龙

(西安工程大学材料工程学院，陕西西安710048)

摘要：高爛合金涂层以其优异的性能近年来得到深入研究，其中磁控溅射制备技术因其独有的优势而被广泛应

用。论述了磁控溅射法制备高爛合金的工艺调控，分析了高爛合金涂层的力学、耐腐蚀及抗氧化等性能特点，并对其应

用前景进行展望，促进磁控溅射法制备高爛合金涂层的研究及应用。

关键词：高嫡合金；涂层；磁控溅射;性能

DOI:10.14158/j・cnki・1001-3814

中图分类号:TG174.4文献标识码：A文章编号:1001-3814(2022)06-0017-04

ResearchProgressinPreparationandPropertiesofMagnetronSputtering

ofHighEntropAlloCoating

LIUXin,WANGYanlong,YANZhen,WANGJinlong

(SchoolofMaterialsScienceandEngineering,XianPolytechnicUniversity,Xi*an710048,China)

Abstract:High-entropyalloycoatingshavebeenin-depthresearchinrecentyearsduetotheiexcellentproperties.

Amongthem,magnetronsputteringpreparationtechnologyiswidelyusedbecauseofitsuniqueadvantages.Theprocess

controlofmagnetronsputteringfopreparinghigh-entropyalloyswasdiscussed.Themechanical,coosionandoxidation

resistancecharacteristicsofhigh-entropyalloycoatingswereanalyzed,anditsapplicationprospectswerelookedforward.The

researchandapplicationofhigh-entropyalloycoatingspreparedbymagnetronsputteringwerepromoted.

Kewords:high-entropyalloy;coating;magnetronsputtering;performance

高爛合金是由5种及以上金属元素或非金属元于TI-6A1-4V钛合金的，可替代钛合金应用于医学

素进行等摩尔配比制备的多主元合金叫这种合金领域“。另外，部分有优良的耐辐射性的高爛合金涂

易于形成体心立方结构、面心立方结构或密排六方层可以涂覆在危险物品的储存罐内侧防止泄露叫

的单相固溶体。具有高硬度、高塑性、高加工硬化、超高炳合金涂层制备方法有真空熔炼法化激光

强耐磨性、耐高温软化、耐腐蚀和耐高温氧化等优异熔覆法㈣、粉末冶金法叭机械合金化法问等，其中磁

的力学性能囱、化学性能切以及物理性能〔T。控溅射法以其工艺灵活、溅射沉积速率快、涂层结构

高爛合金由于制备工艺、材料及制备成本等原致密、力学性能优良被广泛应用。本文阐述了磁