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2026中国半导体抗等离子体材料行业应用动态与供需趋势预测报告.docx

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    2026中国半导体抗等离子体材料行业应用动态与供需趋势预测报告

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    TOC\o1-3\h\z\u15819摘要 3

    15861一、中国半导体抗等离子体材料行业发展背景与战略意义 5

    61381.1半导体制造工艺演进对抗等离子体材料性能的新要求 5

    167151.2国家集成电路产业政策对抗等离子体材料国产化的推动作用 6

    2662二、抗等离子体材料核心技术体系与材料分类 8

    241602.1主流抗等离子体材料类型及特性对比 8

    64702.2材料关键性能指标体系构建 10

    13832三、全球抗等离子体材料市场格局与中国产业定位 12

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