探寻MEMS可制造性：技术、挑战与应对策略.docxVIP

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2025-11-24 发布于上海
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探寻MEMS可制造性：技术、挑战与应对策略

一、引言

1.1MEMS的概念与发展历程

微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystem），又被称作微电子机械系统、微系统或微机械等，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。其内部结构通常处于微米甚至纳米量级，是一个集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等功能于一体的微型器件或系统。MEMS主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分构成，涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多学科领域，是典型的