化学气相沉积铜涂层及其对氧化铝复相陶瓷_铁复合材料界面的影响.pdfVIP

《热加工工艺》2017年3月第46卷第6期

化学气相沉积铜涂层及其对氧化铝复相陶瓷觖

复合材料界面的影响

焦星星，桑可正，王凡，安蕊

(长安大学材料科学与工程学院，陕西西安710064)

摘要：采用化学气相沉积技术，用氢气还原氯化铜的方法在氧化铝复相陶瓷表面制备铜涂层，确定适宜工艺参数

并研究铜涂层对氧化铝复相陶瓷／铁复合材料界面结合的影响。利用x射线衍射仪、扫描电镜等对样品的显微组织、物

相和表面形貌进行分析。研究结果表明：采用化学气相沉积技术在氧化铝复相陶瓷表面制备铜涂层的适宜工艺参数为：

沉积温度850℃，保温时间为40min时，获得的铜涂层均匀致密，且纯度较高。涂层与氧化铝复相陶瓷之间由于热膨胀

系数的差异。在界面结合处存在小裂缝。氧化铝复相陶瓷／铁复合材料由于在界面处发生元素的扩散互熔有利于界面

的结合。氧化铝复相陶瓷／铁复合材料界面结合良好，无明显的孔洞及裂缝等缺陷。

关键词：化学气相沉积；铜涂层；界面；复合材料

DOI：10．141580．cnki．1001-3814．2017．06．038

中图分类号：TB333文献标识码：A文章编号：1001．3814(2017)06．0135—05

EffectsofCoatingbyChemicalVaporDepositionCopperonInterfaceBonding

ofAluminaCompositeCeramic／ironComposite

JIAOXingxing，SANGKezheng，WANGFan，ANRui

(SchoolofMaterialScienceandEngineering，Chang’anUniversity，Xi’an710064，China)

Abstract：Bychemicalvapordepositiontechnique，coppercoatingwaspreparedonaluminacompositeceramicsubstrate

bythereductionofcupricchloridebyhydrogen．Thesuitableprocesspraametersweredetermined，andhteeffectsofthe

coatingonhteinterfacialbondnigofalmuinacompositeceramic／ironcompositewereinvestigated．Themicrostructure，phase

compositionnadsurfacemorphologyofthesampleswerenaalyzedbyXraydiffractionnadscannnigelectronmicroscopy．

Theresultsshowthathtesuitableprocessparameterstopreparethecoppercoatingsbychemicalvapordepositionareas

follows：thetemperatureofdepositionis850℃．holdingtimeis40min．Thecoppercoatingobtainedisuniformandcompact

withhighpuriyt．Duetohtedifferenceofthemralexpnasioncoefficientbetweenthecoatingandalumniacompositeceramic，

htereexistssmallcracksathteniterface．Thediffusionofelementsnadmuutalmeltingathteinterfaceofalumniacomposite

ceramic／ironcompositeraebeneficialtohteinterfacebo