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《热加工工艺》2020年5月第49卷第10期
參表面改性技术鲁
高温磁控溅射沉积Fe-N薄膜的磁电性质研究
方贺男，陈俊霖，李影，彭祥
(南京邮电大学电子与光学工程学院，江苏南京210023)
摘要：采用直流磁控溅射的方法，以Ar和12作为溅射气体，在40(TC下于石英玻璃衬底上沉积Fe-N薄膜。利用
X射线衍射(XRD)X、射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜（SEM)、超导量子干涉仪（SQUID)以及/-V曲线测量对薄膜的
结构、化学环境、表面形貌以及磁电性质进行分析。结果表明：样品具有铁磁性，其饱和磁化强度和矫顽力随温度升髙而
降低；样品具有良好的导电性。
关键词：Fe-N薄膜；高温磁控溅射；磁电性质
DOI:10.141S8/j.cnki.1001-3814.
中图分类号：TG132.2文献标识码：A文章编号：1001-3814(2020)10-0071-03
StudyonMagneticandElectricalPropertiesofFe-NFilmDeposited
byMagnetronSputteringatHighTemperature
FANGHenan,CHENJunlin,LIYing,PENGXiang
(CollegeofElectronicandOpticalEngineering,NanjingUniversityofPostsandTelecommunications,Nanjing210023,
China)
AbstractFe-Nfilmwasdepositedonquartzglassat400：°CbydirectcurrentmagnetronsputteringwithArandN2as
sputteringgas.Thestructure,chemicalenvironment,surfacemorphology,magneticpropertiesandelectricalpropertieswere
analyzedbyX-raydiffraction(XRD),X-rayphotoelectronspectroscopy(XPS),scanningelectronmicroscope(SEM),
superconductingquantuminterferencedevice(SQUID)andI-Vcurve,respectively.Theresultsshowthatthefilmhas
ferromagnetism.Itssaturationmagnetizationandcoercivitydecreasewiththeincreaseoftemperature.Thesamplehasgood
conductivity.
KeywordsFe-Nfilm;magnetronsputteringathightemperature;magneticandelectricalproperties：
铁氮化合物具有丰富的结构与磁学性质，特别流磁控溅射方法，以石英玻璃为衬底，在400°C环境
是具有铁磁性的e-Fe3N等材料在自旋电子学器件
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