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设备型号讲解
设备型号举例：OTFC1300DBI
设备种类大小配置
•设备种类分为OTFC和Gener
•真空室大小分为600、900、1300、1550、1800、2350
•配置说明：
C:冷凝泵
D:扩散泵
B:电子枪
I:离子源
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