多晶硅铸锭炉热场结构的改进与模拟.pdfVIP

HotWorkingTechnology2014，Vo1．43，No．13

●铸造技术●

多晶硅铸锭炉热场结构的改进与模拟

罗玉峰，宋华伟，张发云2,3，饶森林，彭华厦，。王发辉2,3

(1．南昌大学机电工程学院，江西南昌330031；2．新余学院新能源科学与工程学院，江西新余338004；3．江西省高等学

校硅材料重点实验室，江西新余338004)

摘要：在多晶硅铸锭炉内采用了凹坑坩埚和凹坑坩埚平台组合的改进结构，并结合COMSOL4．3a模拟软件对改

进前后的热场做了对比分析。结果表明：与改进前相比，在改进后的热场结构中，硅熔体结晶界面趋于平坦，等温线更加

均匀，熔体轴向温度梯度增加了大约2K／cm，有利于柱状晶的生长；硅熔体对流强度增大，可以使溶质分布更加均匀；

G／vs变大、溶质边界层厚度减小，有利于阻碍结晶界面前沿发生组分过冷，进一步抑制结晶界面细晶的产生。

关键词：多晶硅；凹坑坩埚；热场；数值模拟

中图分类号：TG249．7；TK124文献标识码：A