多晶硅定向凝固过程中晶体内热应力场的数值模拟.pdfVIP

《热加工工艺》2015年6月第44卷第11期

●铸造技术●

多晶硅定向凝固过程中晶体内热应力场的

数值模拟

罗玉峰，宋华伟，张发云2，3胡云2,3，彭华厦，刘杰

(1．南昌大学机电工程学院，江西南昌330031；2．新余学院新能源科学与工程学院，江西新余338004；3．江西省高等

学校硅材料重点实验室．江西新余338004)

摘要：通过基于有限元方法的ComsolMultiphysics4．3a软件模拟了多晶硅定向凝固过程中的热应力场．分析了

炉膛内温度梯度，以及坩埚底部不同倒角半径对晶体内热应力的影响。结果表明：多晶硅晶体中存在两个高热应力区．

热应力最大值出现在晶体底部边缘，其次为靠近晶体顶部边缘处。当炉腔内温度梯度从3K／cm增加到6K／cm时，晶体

内热应力的平均值从34．18MPa增加到了56．75MPa，热应力的平均值增加了66．03％。随着温度梯度的增加，晶体内热

应力平均值增长幅度逐渐减小。当坩埚底部倒角半径从