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2026-2030中国化学机械抛光(CMP)技术行业需求潜力及应用趋势预测研究报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 3
一、中国化学机械抛光(CMP)技术行业发展概述 5
1.1CMP技术基本原理与工艺流程 5
1.2全球CMP技术发展历程与中国产业定位 6
二、2026-2030年中国CMP技术行业宏观环境分析 7
2.1政策环境:国家集成电路产业政策与“十四五”规划影响 7
2.2经济与技术环境:半导体投资热潮与先进制程演进驱动 9
三、CMP技术产业链结构与关键环节分析 10
3.1上游:抛光液、抛光垫、设备核心部
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