调制周期对Cr_CrN多层膜结构及性能的影响.pdfVIP

HotWorkingTechnology2019,Vol.48,No.10

调制周期对Cr/CrN多层膜结构及性能的影响

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黄儒明,,代明江,林松盛,刘洪喜

(1.昆明理工大学材料科学与工程学院,云南昆明650093;2.广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程

实验室广东省现代表面工程技术重点实验室,广东广州510650)

摘要：采用电弧离子镀技术在6Cr13Mo低碳马氏体不锈钢基材表面沉积不同调制周期的Cr/CrN多层膜。利用

扫描电镜、显微硬度仪、划痕仪、压痕仪、摩擦磨损试验机、3D轮廓仪研究Cr/CrN多层膜的结构和性能。结果表明：调制

周期的变化对/CrN多层膜硬度影响较小；随着调制周期的减小，/CrN多层膜致密性逐渐提高；不同调制周期下，

CrCr

Cr/CrN多层膜与基体结合力均在100N以上，其中调制周期为321nm的Cr/CrN多层膜的韧性及与基体结合性能最

优；调制周期为569nm的Cr/CrN多层膜的磨损率最低。

关键词：电弧离子镀;调制周期;Cr/CrN多层膜

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.10.032

中图分类号：文献标识码：文章编号：

TB43A1001-3814(2019)10-0136-04

EffectofModulationPeriodsonStructureandProperties

ofCr/CrNMultilayerFilms

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HUANGRuming,,DAIMingjiang,LINSongsheng,LIUHongxi

(1.AcademyofMaterialsScienceandEngineering,KunmingUniversityofScienceandTechnology,Kunming650093,

China;2.KeyLabofGuangdongforModernSurfaceEngineeringTechnology,GuangdongInstituteofNewMaterials,

NationalEngineeringLaboratoryforModernMaterialsSurfaceEngineeringTechnology,Guangzhou510650,China)

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AbstractCr/CrNmultilayerfilmsofdifferentmodulationperiodswerepreparedon6Cr13Molow-carbonmartensitic

stainlesssteelsbyarcionplating