扫描电镜及能谱培训讲座讲课文档.pptVIP

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扫描电镜及能谱培训讲座;设备的构造和原理;SEM的诞生背景;1923年,法国科学家LouisdeBroglie发现,波粒二象性。

1926年,德国物理学家H·Busch提出了关于电子在磁场中的运动理论。

1932年,结合上述两方面的理论,德国柏林工科大学高压实验室的M.Knoll和E.Ruska研制成功了第1台实验室电子显微镜,

1933年,E.Ruska用电镜获得了金箔和纤维的1万倍的放大像。

1937年,柏林工业大学的Klaus和Mill继承了Ruska的工作,拍出了第1张细菌和胶体的照片,获得了25nm的分辨率。

1939年,E.Ruska在德国的Siemens公同制成了分辨率优于10nm的第1台商品电镜,而荣获1986年诺贝尔物理学奖。

1944年Philip公司设计了150kV的透射电镜,并首次引入中间镜。

1947年法国设计出400kV的高压电镜。60年代初,法国制造出1500kV的超高压电镜。

1970年法国、日本又分别制成3000kV的超高压电镜。

扫描电镜作为商品出现则较晚,早在1935年,Kn-oll在设计透射电镜的同时,就提出了扫描电镜的原理及设计思想。

1940年英国剑桥大学首次试制成功扫描电镜。

1965年英国剑桥科学仪器有限公司开始生产商品扫描电镜。

80年代后扫描电镜的制造技术和成像性能提高很快,目前高分辨型扫描电镜(如日立公司的S-5000型)使用冷场发射电子枪,分辨率已达0.6nm,放大率达80万倍。;设备的结构;扫描电镜结构示意图;光学系统;极靴;图像摇摆调节杆;工作原理;成像原理;第十二页,共35页。;对比光学显微镜的工作原理;你好;扫描电镜能干什么?;能谱原理;第十七页,共35页。;能谱原理;两个有用的名词;交互作用区;能告诉我们什么?;不同加速电压轰击样品铁块后的电子飞行轨迹模拟;20kV加速电压轰击不同样品后的电子飞行轨迹模拟;20kV电压轰击不同倾斜铁块后的电子飞行轨迹模拟;过压比;知道它有什么用?;简单的解读;图的解读;背散射电子像的解读;是凸起还是凹下?;第三十一页,共35页。;第三十二页,共35页。;第三十三页,共35页。;第三十四页,共35页。;谢谢大家!

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