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2025半导体超纯水制备用离心泵.docxVIP

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  • 2025-11-28 发布于湖南
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2025半导体超纯水制备用离心泵.docx

    半导体超纯水制备用离心泵

    CentrifugalpumpforSemiconductorultrapurewaterpreparation

    PAGE\*ROMAN

    PAGE\*ROMANII

    目 次

    前言 II

    范围 1

    规范性引用文件 1

    术语和定义 1

    型式、型号与基本参数 2

    技术要求 2

    试验方法 3

    检验规则 5

    标志、包装、运输和贮存 6

    PAGE

    PAGE1

    半导体超纯水制备用离心泵

    范围

    本文件规定了半导体超纯水制备用离心泵的型式、型号与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

    本文件适用于半导体超纯水制备中前处

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