半导体制程概论.pptVIP

HongXiao,Ph.D.www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm*半導體生產工廠的平面圖製程區間更衣區走道設備區拉門服務區第30页，共53页，星期日，2025年，2月5日HongXiao,Ph.D.www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm*半導體生產工廠基本平面圖更衣區緊急出口服務區製程和度量工具第31页，共53页，星期日，2025年，2月5日HongXiao,Ph.D.www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm*濕式製程乾燥蝕刻、光阻塗佈或清洗沖洗第32页，共53页，星期日，2025年，2月5日HongXiao,Ph.D.www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm*中心帶區平帶區距離溫度加熱線圈石英管氣流晶圓水平爐管第33页，共53页，星期日，2025年，2月5日HongXiao,Ph.D.www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm*垂直爐管製程反應室晶圓塔狀承座加熱器第34页，共53页，星期日，2025年，2月5日HongXiao,Ph.D.www2.austin.c