结构型传感器.pptVIP

图4-33为差动式电容加速度传感器结构图。它有两个固定极板（与壳体绝缘），中间有一用弹簧片支撑的质量块，此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为两个动极板（与壳体电连接）。4.2.3电容式传感器的测量电路第62页，共104页，星期日，2025年，2月5日1.调频电路调频测量电路是把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分，当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。调频电路中可以将振荡频率作为输出信号，也可以经过f/V转换成电压信号输出，参见图4-34所示。第63页，共104页，星期日，2025年，2月5日1.调频电路L-C谐振回路的振荡频率当被测信号为零时，?C=0，则C=C1+C2+C0，所以振荡器有一个初始振荡频率f0：当被测信号不为零时，?C?0，则振荡器的振荡频率发生变化，此时频率为由上式可知，根据频率的变化?f可以测出电容的变化?C，从而完成对物理量的测量。调频测量电路具有较高的灵敏度，可以测量0.01μm级位移变化量。第64页，共104页，星期日，2025年，2月5日2.运算放大器式电路图4-35是运算放大器测量电路原理图。图中Cx是传感器的电容,Ui是交流电源电压，Uo是输出电压信号。第65页，共104页，星期日，2025年，2月5日2.运算放大器式电路由运算放大器的工